妥協のないナノ性能

ナノチューブN1 60 kVは、高度なMetalJet電子ビームプラットフォームと、最新のタングステン・ダイヤモンド透過型ターゲット技術を洗練させて進化した電子光学系に基づいています。自動電子ビームフォーカスと非点収差補正により、どのような電圧・電流設定でも、可能な限り小さく、真円度の高いスポットを確実に達成することができます。さらに、ナノチューブには、較正されたスポットサイズをシステム内部で測定して報告する独自の機能があります。また、高度な冷却および熱設計により、長時間の暴露でも極めて安定しています。これにより、150 nmのラインとスペースの等方的な解像度が可能になります。
NanoTube

解像度の例

ナノチューブを使用して撮影された標準JIMA RT RC-04 150 nm(左)および200 nm(右)の解像度パターンの投影X線写真。

標準のJIMA RT RC-04解像度チャート上の150 nmおよび200 nmのラインおよびスペースについては明確に確認されています。Si Timepix検出器を用いたFraunhofer EZRTとの共同実験

左側のジーメンス・スターのSEM顕微鏡写真と、右側のナノチューブを使用して撮影した投影放射線写真。

ナノチューブの真円スポットは、ジーメンス・スター解像度ターゲットの高度に対称的な画像によって実証されています。最も内側の線幅は150 nmです。Dectris PILATUS3 X CdTe 300K-W検出器を用いたFraunhofer IIS(NanoCTシステム)との共同実験から。

The development of the NanoTube has been partly funded by the European Union Seventh Framework Programme (FP7/2007-2013) through Excillum’s participation the NanoXCT program (grant agreement no 280987).

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