妥協のないナノ性能

ナノチューブN1 60 kVは、高度なMetalJet電子ビームプラットフォームと、最新のタングステン・ダイヤモンド透過型ターゲット技術を洗練させて進化した電子光学系に基づいています。自動電子ビームフォーカスと非点収差補正により、どのような電圧・電流設定でも、可能な限り小さく、真円度の高いスポットを確実に達成することができます。さらに、ナノチューブには、較正されたスポットサイズをシステム内部で測定して報告する独自の機能があります。また、高度な冷却および熱設計により、長時間の暴露でも極めて安定しています。これにより、150 nmのラインとスペースの等方的な解像度が可能になります。
特徴と利点
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特徴と利点
  • 自動電子ビームフォーカスおよび非点収差補正による優れたスポット品質
  • 内部絶対スポットサイズ測定
  • タングステン・ダイヤモンド透過型ターゲット
  • 究極のスポット安定性のための統合型冷却
  • X線スポットへの優れた幾何学的アクセスを可能にする円錐形フロント
  • ユーザーフレンドリーなGUIによる制御、またはTCP / IPプロトコルによるリモート制御
  • 統合制御用に提供されるAPI
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NanoTube
解像度の例

解像度の例

ナノチューブを使用して撮影された標準JIMA RT RC-04 150 nm(左)および200 nm(右)の解像度パターンの投影X線写真。

標準のJIMA RT RC-04解像度チャート上の150 nmおよび200 nmのラインおよびスペースについては明確に確認されています。Si Timepix検出器を用いたFraunhofer EZRTとの共同実験

左側のジーメンス・スターのSEM顕微鏡写真と、右側のナノチューブを使用して撮影した投影放射線写真。

ナノチューブの真円スポットは、ジーメンス・スター解像度ターゲットの高度に対称的な画像によって実証されています。最も内側の線幅は150 nmです。Dectris PILATUS3 X CdTe 300K-W検出器を用いたFraunhofer IIS(NanoCTシステム)との共同実験から。

位置安定性の例

位置安定性の例

ナノチューブの高度な電子ビームシステムおよび統合された熱制御により、優れた長期安定性が実現します。このグラフは、上記のジーメンス・スターの画像の(オブジェクト座標での)動きを11時間中に400回の露出で示しています。この画像の動きには、サンプル、ステージ、検出器などの完全なセットアップの動きも含まれるため、X線スポットの実際の動きは小さくなっています。

優れた幾何学的アクセス

優れた幾何学的アクセス

透過型ターゲットの端部は、サンプルをできるだけX線焦点に近づけるために最も突出した表面になっています。さらに、フロント部は、一般的な円錐形のサンプルホルダーの使用に適した円錐形となっています。

技術的仕様

技術的仕様

電圧 10-60 kV 最高の解像度 150 nm(ラインとスペース、JIMAなど)
最大照射電力 6 W ターゲット材料 ダイアモンド上のタングステン (W)
陽極の最大吸収電1 5 W ターゲット・タイプ 透過型
最小 焦点サンプル間距離 100 µm 長期スポット安定2 < 50 nm

1) 高フラックスモードで最大性能が得られるようカソードが取り付けられていると仮定しています。最大電力はカソードの構成に依存します。高解像度モードで最適な性能を発揮するようにカソードを取り付けた場合、最大吸収電力は1 W未満です。ただし、70 kVの高電圧発生器の最大出力電力は300 Wです。

2) 最初のウォームアップ後の数時間にわたる標準偏差。

 

The development of the NanoTube has been partly funded by the European Union Seventh Framework Programme (FP7/2007-2013) through Excillum’s participation the NanoXCT program (grant agreement no 280987).

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