MetalJet E1 160 kV
限界を超えて

MetalJet E1 160 kVのご紹介
従来のX線源の10~70倍のフラックス強度を得ることができます

新しいExcillum MetalJet E1は700Wで、30μmの焦点サイズの従来型 30Wタングステン固体ターゲットX線源と比較して10倍以上のX線フラックス強度を取ることができます。24- 29keVのエネルギー域ではインジウムと錫の特性X線により従来型と比較して70倍の高強度が得られます。

24時間週7日稼働可能な信頼性の高い性能
予防保守サイクルは6ヶ月以上、高スループット産業向けに設計です。

サブミクロンの位置安定性
700W運転時でも1μm以下の焦点位置安定性を確保。

従来にない24keVインジウムKα特性線
高エネルギー単色X線として、収束或いはコリメートされた24keVのインジウムKαX線が使えます。MontelX線収束ミラーにより 1.9×10¹⁰photons/s/mm²のフラックスが得られます (www.excillum.com/products/metaljet/metaljet-with-optics/) 。

特徴と利点

究極のマイクロフォーカス・X線源
優れたスポット品質
シングルポートデュアルポート・モードのオプション
最小限の保守
ユーザーが変更可能なスポット・サイズとアスペクト比
長寿命LaB₆カソード

高い安定性をもつX線発生とスポット位置
ユーザー・フレンドリーなグラフィカル・ユーザー・インターフェース
GUIまたはTCP/IPプロトコルで制御
調整可能な射出角
外部冷却水が不要
どのコンピュータからでも遠隔操作可能

技術的仕様

ターゲット材料¹	液体金属合金	最小焦点スポット・サイズ	< 10 μm
ターゲットタイプ	液体ジェット	X線強度安定性³	< 1%
電圧	30-160 kV	位置安定性³	< 1 μm
出力²	0-700 W	焦点-対物最小距離。	22.5 mm
最大電流	4.4 mA	ビーム角度	20°

使用可能なアノード合金

アノード合金	ガリウム [重量%]	インジウム [重量%]	スズ [重量%]
ExAlloy-G1⁴	95	5	–
ExAlloy-I1	68	22	10
ExAlloy-I2⁴	47	37	16
ExAlloy-I3⁴	75	25	–

1) MetalJetのX線源に使用する常温液体金属合金は、主にガリウム、インジウム、スズで構成されています。低反応性、低毒性ですが、安全データシートや取扱い規制に従ってください。
2) 実際の使用電力はスポット・サイズと電圧に依存します。ただし、160kVの高圧電源の最大出力は700Wです。
3) 標準偏差
4) ExAlloy-G1，ExAlloy-I2，ExAlloy-I3ではMetalJet E1のヒーター・システムで合金温度の制御を行います。

強度特性⁵

ターゲット合金	加速電圧 [kV]	X線焦点サイズ⁶ [µm]	印加電子ビーム電力 [W]	ピーク輝度 [photons/(s mm² mrad²)]	単位輝度 [photons/(s mrad²)]
ExAlloy-I2	160	30	700	1.4×10¹⁰	1.3×10⁷
	160	25	570	2.2×10¹⁰	1.1×10⁷
	120	20	380	2.5×10¹⁰	8.8×10⁶
	70	20	250	1.7×10¹⁰	6.5×10⁶
	70	10	150	3.3×10¹⁰	4.4×10⁶
ExAlloy-G1	160	30	700	3.8×10¹⁰	3.9×10⁷
	160	25	570	5.6×10¹⁰	3.4×10⁷
	120	20	380
	70	20	250	4.1×10¹⁰	1.4×10⁷
	70	10	150	7.1×10¹⁰	9.6×10⁶

ターゲット合金	加速電圧 [kV]	X線焦点サイズ⁶ [µm]	印加電子ビーム電力 [W]	ピーク輝度 [photons/(s mm² mrad²)]	単位輝度 [photons/(s mrad²)]
ExAlloy-I2	160	30	700	8.9×10⁹	8.5×10⁶
	160	25	570	1.5×10¹⁰	7.2×10⁶
	120	20	380	1.6×10¹⁰	5.7×10⁶
	70	20	250	1.1×10¹⁰	4.0×10⁶
	70	10	150	2.0×10¹⁰	2.7×10⁶
ExAlloy-G1	160	30	700	3.0×10¹⁰	3.1×10⁷
	160	25	570	4.6×10¹⁰	2.7×10⁷
	120	20	380	5.0×10¹⁰	1.9×10⁷
	70	20	250	3.2×10¹⁰	1.1×10⁷
	70	10	150	5.5×10¹⁰	7.4×10⁶

ターゲット合金	加速電圧 [kV]	X線焦点サイズ⁶ [µm]	印加電子ビーム電力 [W]	ピーク輝度 [photons/(s mm² mrad²)]	単位輝度 [photons/(s mrad²)]
ExAlloy-I2	160	30	700	1.5×10¹⁰	1.5×10⁷
	160	25	570	2.1×10¹⁰	1.3×10⁷
	120	20	380	2.2×10¹⁰	8.5×10⁶
	70	20	250	1.3×10¹⁰	4.3×10⁶
	70	10	150	2.2×10¹⁰	2.9×10⁶
ExAlloy-G1	160	30	700	5.9×10⁹	6.4×10⁶
	160	25	570	8.3×10⁹	5.6×10⁶
	120	20	380
	70	20	250	7.6×10⁹	2.5×10⁶
	70	10	150	1.3×10¹⁰	1.7×10⁶

ターゲット合金	加速電圧 [kV]	X線焦点サイズ⁶ [µm]	印加電子ビーム電力 [W]	ピーク輝度 [photons/(s mm² mrad²)]	単位輝度 [photons/(s mrad²)]
ExAlloy-I2	160	30	700	4.5×10⁹	4.7×10⁶
	160	25	570	6.5×10⁹	4.1×10⁶
	120	20	380	5.9×10⁹	2.3×10⁶
	70	20	250	2.3×10⁹	7.9×10⁵
	70	10	150	3.8×10⁹	5.2×10⁵
ExAlloy-G1	160	30	700	6.8×10⁸	7.3×10⁵
	160	25	570	9.5×10⁸	6.4×10⁵
	120	20	380
	70	20	250	4.7×10⁸	1.6×10⁵
	70	10	150	7.7×10⁸	1.1×10⁵

ターゲット合金	加速電圧 [kV]	X線焦点サイズ⁶ [µm]	印加電子ビーム電力 [W]	ピーク輝度 [photons/(s mm² mrad²)]	単位輝度 [photons/(s mrad²)]
ExAlloy-I2	160	30	700	8.4×10⁹	7.8×10⁶
	160	25	570	1.2×10¹⁰	6.7×10⁶
	120	20	380	1.3×10¹⁰	4.3×10⁶
	70	20	250	7.3×10⁹	1.9×10⁶
	70	10	150	1.2×10¹⁰	1.3×10⁶
ExAlloy-G1	160	30	700	6.7×10⁹	7.0×10⁶
	160	25	570	8.7×10⁹	6.0×10⁶
	120	20	380
	70	20	250	6.1×10⁹	1.6×10⁶
	70	10	150	1.0×10¹⁰	1.1×10⁶

ターゲット合金	加速電圧 [kV]	X線焦点サイズ⁶ [µm]	印加電子ビーム電力 [W]	ピーク輝度 [photons/(s mm² mrad²)]	単位輝度 [photons/(s mrad²)]
ExAlloy-I2	160	30	700	8.2×10⁹	5.9×10⁶
	160	25	570	1.1×10¹⁰	5.0×10⁶
	120	20	380	8.7×10⁹	2.0×10⁶
	70	20	250	6.4×10⁸	1.1×10⁵
	70	10	150	1.1×10⁹	7.2×10⁴
ExAlloy-G1	160	30	700	5.6×10⁹	4.4×10⁶
	160	25	570	7.8×10⁹	3.7×10⁶
	120	20	380
	70	20	250	4.5×10⁸	8.3×10⁴
	70	10	150	8.3×10⁸	5.2×10⁴

5) 実験に基づいた数値を表示しています。詳細についてはExcillumに直接コンタクトください。
6) X線スポットサイズは電子ビームのフォーカスにより変えられます。最大アスペクト比は4:1に設定できます。実際のスポットサイズは取出し角度により縦横比が異なります。詳細はExcillumに直接コンタクトください。
他の線源パラメータでのX線データはExcillum Webサイトでご覧になれます。Please contact us for more details.

安定性・スポット形状・エネルギー分布

設置と運用

X線源は、図面に示された寸法のヘッドとポンプ・システムで構成されています。ヘッドは基本的にポンプ・システムの真上に取り付ける必要があります。カップリングは半剛性で、X線源ヘッ
ドは多少動かすことができます。ExAlloy-G1，ExAlloy-I2および ExAlloy-I3で動作するX線源には、合金再循環ループ内にヒータージャケットが装着されます。

さらに、MetalJet E1 160 kVはヘッドとポンプ・システムから最大 4mの距離に据え付け可能な複数の19インチ・ラック・マウント部品で構成されています。

X線源の操作はTCP/IP経由のリモート、あるいは直接GUI で行うことが可能です。GUIはモニタ、キーボード、マウ
スが装備されている場合は光源自体で、または光源にTCP/ IP接続できるほとんどのコンピュータで操作することができます。

X線源はスタンドアローンで運転することはできず、適切なインターロック接続のあるシステムと統合する必要があります。

メイン電源:交流、単相、200-240 V、2.6ー3.5 kW(構成による) 、50/60 Hz。

使用環境:20~30°C (X線源の動作安定化のためには ±0.5°C以内の変動)、最大相対湿度85%。

Safety and compliance

Excillum’s X-ray sources are compliant with the Machinery Directive 2006/42/EC, RoHS Directive 2011/65/EU and Low Voltage Directive 2014/35/EU. Excillum’s X-ray sources are a sub-assembly and therefore excluded from the EMC Directive 2014/30/EU, hence also conform to the definition of partly completed machinery and so should not be CE marked. Our X-ray sources are intended for system integration into customer equipment. The system integrator is solely responsible for final certification and safety compliance. X-rays emitted from the source are harmful for the human body and it is the sole responsibility of the system integrator to comply with all regulations and to protect all personnel during operation. The X-ray source may be subject to local government radiation hazard regulations.

Data sheet

MetalJet E1

Brochure

MetalJet technology

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