スポット品質は非常に優れており、5〜30μmのスポットサイズの範囲内で、市販されている他のマイクロフォーカスX線源 よりもはるかに高い輝度を実現しています。したがってMetalJet D2+ は、露光時間の短縮、スループットの向上、高い信号対ノ イズ(S/N)比を必要とする、あらゆるマイクロフォーカスのアプリケーションに理想的なX線源です。
With the introduction of Dynamic Adaptation technology the practical cathode lifetime has been further extended 2-4x, up to a full year of 24/7 operation depending on application.
| ターゲット物質1 | GaまたはInリッチ金属合金 | 最小スポットサイズ | ~ 5 μm | |
| ターゲットタイプ | 液体ジェット | 放射安定性3 | < 1% | |
| 電圧 | 21-70 kV | 位置安定性3 | < 1 μm | |
| 出力2 | 0-250 W | 最小焦点対象距離4 | 18 mm | |
| 最大電流 | 4.3 mA | ビーム角度5 | 13°/30° |
| Target alloy | Gallium [weight %] |
Indium [weight %] |
Tin [weight %] |
|
| ExAlloy-G1 | 95 | 5 | – | |
| ExAlloy-I1 | 68 | 22 | 10 | |
| ExAlloy-I26 | 47 | 37 | 16 | |
| ExAlloy-I3 | 75 | 25 | – |
1) MetalJet線源用に供給される室温の液体金属合金は、主にガリウム(Ga)、インジウム(In)及びスズ(Sn)からなります。低反応性で低毒性ですが、安全性データシートおよび現 地の規制に従って取り扱う必要があります。現在使用可能なアノード合金は、Exalloy-G1 (Ga含有量 95%) と、Exalloy-I1(In含有量 21%)です。(次のページの典型的な発光スペクト ルを参照して下さい)。
2) 使用される実際の電力は、スポットサイズと電圧に依存します。70kV高電圧発生器の最大出力は300Wです。 3) 標準偏差。
4) シャッター無しの場合。(シャッター有りで24.8mm)
5) シャッター無しの場合。(シャッター有りで10.5°)
6) Operation of ExAlloy-I2 requires that the MetalJet source is equipped with a heater system since the melting point is above room temperature. Due to this requirement the MetalJet sources with ExAlloy-I2 are under limited availability. Please contact us for further information.
| Jet material | Nominal X-ray spot size6 [µm] | E-beam power [W] | Ga Kα (9.2 keV) peak brightness [photons/(s mm2 mrad2)] | Ga Kα (9.2 keV) radiant flux [photons/(s mrad2)] | In Kα (24 keV) peak brightness [photons/(s mm2 mrad2)] | In Kα (24 keV) radiant flux [photons/(s mrad2)] |
| 10 | 125 | 4.3×1010 | 6.3×106 | 6.0×108 | 9.0×104 | |
| 20 | 250 | 3.2×1010 | 1.1×107 | 4.7×108 | 1.6×105 | |
| ExAlloy-I1 | 10 | 125 | 2.6×1010 | 3.7×106 | 1.7×109 | 2.6×105 |
| ExAlloy-I1 | 20 | 250 | 1.8×1010 | 6.4×106 | 1.4×109 | 4.7×105 |
| ExAlloy-I2 | 10 | 125 | 1.6×1010 | 2.3×106 | 2.9×109 | 4.4×105 |
| ExAlloy-I2 | 20 | 250 | 1.1×1010 | 4.0×106 | 2.3×109 | 7.9×105 |
6) 実際の電子ビームスポットはそれぞれ40×10および80×20μmのラインフォーカスですが、投影スポットは基本的に円形となります。
線源は、図に示す寸法のヘッドおよびポンプシステムからなります。ヘッドはポ ンプシステムの上に基本的にまっすぐに取り付ける必要があります。カップリ ングは半剛性であり、線源ヘッドを少し移動することが可能です。
さらに、MetalJet D2+ 70 kVは、2つの4U(高さ176 mm)の19インチラック用 電子機器ボックスと、床置きの空気/水冷却器(69×36×62 cm)で構成され、ヘ ッドとポンプシステムから最大4mまで取り付けることができます。
線源は、TCP / IPを介して、またはGUIから直接操作することができます。GUI は、線源がモニター、キーボード、マウスを備えていれば線源上で操作できま すし、または線源にTCP / IP接続してほとんどのコンピューター・プラットフォー ム上で操作できます。
線源はスタンドアロンユニットとして操作することはできません。適切なインタ ーロック接続を提供するシステムに組み込む必要があります。
メイン電源: 単相交流、200-240 V,16 A, 50/60 Hz
周囲温度湿度: 20〜25°C (線源の最適安定性のためには、± 0.2°Cで
安定していること)、相対湿度最高85%
ExcillumのX線源は、機械指令2006/42 / EC、RoHS指令2011/65 / EU、および低電圧指令2014/35 / EUに準拠しています。ExcillumのX線源は、分部組立品で あるためEMC指令2014/30 / EUから除外されいます。従って、一部完成した機械の定義にも準拠しているためCEマークは付けられません。ExcillumのX線源 は、顧客装置へのシステム統合を想定しています。システム組み込み業者は、最終的な認証及び安全性の順守について全責任を負います。この線源から放出 されるX線は人体に有害であり、システム組み込み業者は全ての規制を順守し、作動中は全ての要員の保護に関して唯一責任を負う者です。このX線源は、地 方自治体の放射線被ばく規制の対象となる事があります。
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