NanoTube N3 60 kV
ナノスケール解像度革命 へようこそ
ExcillumのNanoTube N3は、手動調整を必要とせず、幾何学的拡大X線撮像システムで業界最高レベルの 分解能と安定性を実現しました。
NanoTube N3は、高度な電子光学系と最新のタングステンダイヤモンド透過ターゲット技術を用いています。電子線自動焦点と非点収差補正により、常に可能な限り小さく真円度の高いスポットを得ることができます。
NanoTube N3は、独自のスポットサイズをX線管内部測定表示する機能を備えています。さらに最新の冷却および 熱設計により、長時間露出でも高い位置安定性を備えています。これにより、従来にはないLine & Space実分解能150nmを発揮します。
特徴と利点
- 自動電子線収束による高品質な真円形スポットの生成
- 全ての設定電圧において自動的に150nm分解能を達成
- スポットサイズのX線管内部測定表示機能
- 長寿命カソード
- 焦点位置を変更せずに焦点寸法と印加電力の設定変更可能
- 焦点近くへのアクセスを向上する円錐形フロント形状
技術仕様
管電圧 | 40-60 kV | ターゲット印加電力 | 2.4 W |
高輝度陰極材料 | LaB6 | ターゲット物質 | ダイアモンド基板上タングステン (W) |
最小分解能 | 150 nm | ターゲットタイプ | 透過型 |
焦点試料間最小距離 | 150 µm | 長時間焦点位置安定性 | < 100 nm1 |
1) 熱設定30分以上の後、8時間以上の固定条件設定にて動作させた場合の標準偏差
NanoTube N3のX線源は寸法689 x 210 x 400 mm［長さx幅x高さ（ケーブルを含む）］のヘッドで構成されています。ヘッドには、光学テーブルへの取付穴が設けられ、垂直にも水平にも設置することができます。
さらにNanoTube N3は、各々19”ラック4U（高さ176 mm）のパワーモジュールと冷却器、及び19”ラック１U（高さ44㎜）のコントロールコンピュータと床設置の高電圧装置で構成されています。これらは全てヘッドから最大5 mの範囲内に設置可能です。
X線源ヘッド
垂直設置
水平設置
高圧電源
19”ラックユニット
NanoTube N3はTCP/IPによる遠隔または直接GUIによる操作が可能です。 モニター、キーボード、マウスによりX線源コントローラーでのGUI操作、またはX線源コントローラーへTCP/IP接続することにより、ほとんど のコンピュータープラットフォーム上で操作可能です。 X線源はスタンドアロン装置として操作することはできません。適切なインターロックシステムと接続して使用ください。
電源電圧： AC、単相、200～240 V、16 A、50/60 Hz
設置環境： 20～30°C（線源の安定のため± 0.2°Cに保持）、 相対湿度 最大85%
真円形スポット
Siemensスター分 解能標準による計測で高い対称性が示され、NanoTube N3のX線焦点が真円形であることが示されます。Siemensスターの最も内側は150 nmのパターンです。次の図はSimensスターを、それぞれSEM顕微鏡撮影（左）と NanoTube N2３投影X線撮影（右）したものです。
長時間使用における焦点位置の安定性
NanoTube N3は、高度な電子線システムと一体型の熱制御により、長時間の使用でも優れた安定性を発揮します。次のグラフは、熱平衡状態とした陽極上の焦点位置の変動を8時間にわたり内部位置測定機能により計測したものです。連続した計測をする場合、当然ながらイメージングシステム全体の安定性も重要です。
優れた幾何学的アクセス
透過ターゲットの端部が最も突出した面になっていて、サンプ ルを可能な限りX線焦点に近づけることができます。また、フロ ント部が円錐形のため、しっかりした円錐形サンプルホルダー を使用できます。
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当社は、お客様のアプリケーションで当社技術の利点を最大限に生かすための、成長する組織、および機能と専門知識を備えたパートナーのネットワークを備えています。
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田中志穂, Ph.D.
Senior Scientist
NanoTube N3の用途分野
カスタマーサポート
当社のX線源MetalJetおよびNanoTubeは、最高レベルのパフォーマンスと信頼性を保証するように設計されています。 定期的なメンテナンス、トラブルシューティング、または最適化が必要な場合はいつでも、経験豊富なエンジニアのチームが、当社のX線源がインストールされているすべての市場で、オンサイトまたはリモートサポートを提供できます。
また、エキシルムABは日本国内における保守サービスと保守部品の供給でシエンタオミクロン株式会社と提携しています。エキシルムABからX線源を単品で導入された日本国内のユーザーもシエンタオミクロン株式会社の国内熟練技術者による充実した技術支援を受けられます。
