NanoTube N2 110 kV

ナノスケール解像度革命 へようこそ

より多くの電力とより高い電圧で最高のイメージング 解像度

 

Excillum 社のナノチューブ N2は、幾何学的拡大X線イメージングシステムにおいて業界を リードする解像度を実現し、60 kVでのイメージング速度は従来製品のナノチューブ N1の
3倍以上となっています。また、ナノチューブ N2は110 kVでのX線発生が可能であり、より 高い 透過能力で高速 イメージング 透過 が可能です。

ナノチューブ N2は、高度な電子光学系と最新のタングステンダイヤモンド 透過 ターゲット技術 を用いて います。自動電子ビー ムフォーカスと非点収差の補正により、可能な限り小さく、真円形状 スポットを確実に実現 します。

ナノチューブ N2には、現在のスポットサイズを内部で測定して 表示する 独自の機能もあります。また、高度な冷却および熱設計 により、長時間の 使用でも極めて安定しています。これにより、これまでになかった150nmのLine&Spaceの解像度を実現でき ます。

特徴と利点

  • 真の円形スポットの自動電子ビームフォーカスによる優れ たスポット品質。
  • 内部絶対スポットサイズ測定。
  • 60kVでナノチューブN1の3倍以上のX線強度。110kVでは さらに増加。
  • 長寿命のカソード。
  • スポット位置を変更せずに、スポットサイズとパワーの設 定が可変。
  • X線スポット直近へのアクセスが可能な円錐形状フロント

技術的仕様 ナノチューブ 110 kV

電圧

20-110 kV1

ターゲットの電力

1.3-6.1 W

高輝度 Lab6 エミッターr

ターゲット材料

ダイアモンド上のタングステン (W)

解像度

150 nm – 600 nm

ターゲットタイプ

伝送

最小焦点物体距離

100 µm

長期スポット安定性

< 50 nm

1) 40 kV以上でスポットサイズ制御が完全に自動化。

  • X-ray source head
  • Central controller
  • High-voltage generator
  • Generator controller
  • Chiller
  • High-voltage and communication cable kit
  • Software with graphical user interface

The NanoTube N2 X-ray source consists of the head with dimensions 646 x 220 x 372 mm (L x W x H) excluding cables. The head has several mounting holes consistent with optic table mounting.

In addition, the NanoTube N2 consists of two 4U (176 mm height) 19” rack electronics boxes, floor standing generator and a 19” rack mounted chiller, that can be mounted up to 5m from the head.

Source head dimensions
Mounting holes
Rack

The NanoTube N2 can be remotely operated through TCP/IP or directly through the GUI. The GUI can be operated on the source itself if it is equipped with monitor, keyboard and mouse, or on most computer platforms with a TCP/ IP connection to the source.

The source cannot be operated as a standalone unit and must be integrated into a system providing the proper interlock connections.

Mains: AC, single phase, 200-240 V, 16 A, 50/60 Hz.
Ambient: 20-25°C (stable within ± 0.2°C for optimal source stability), max 85% relative humidity.

真円形状スポット

ナノチューブ N2の真円形状 スポットは、シーメンス・スターの 解像度ターゲットの高対称性の画像によって実証されていま す。最も内側の形状は150 nmです。

左の画像は、シーメンス・スターのSEM顕微鏡写真で、右は、ナ ノチューブN2を使用して撮影した投影放射線写真です。

長期間位置安定性

ナノチューブN2の高度な電子ビームシステムおよび一体型熱 制御により、長時間の優れた安定性が実現できます。このグラ フは、熱平衡状態 にあるソースにより14時間にわたって内部測 定したもので、アノードの固定点に対するスポットの動きを示し ています。当然のことですが、イメージング データ取得で同じ安 定性を維持するには、イメージングシステムの安定性に関して 細心の注意を払う必要があります。

光束量の増加

ナノチューブN2は、非常に高いX線強度が得られます。ナノチ ューブN2 60 kVでは、従来製品のナノチューブN1の3倍の X線 強度が実現します。この例は、ナノチューブN1 60 kV(上図)とナ ノチューブN2 60 kV(下図)で行われたSDカードのナノCTから の 断層スライス像を示しており、Voxelサンプリング200nmを 実現しています。
ナノCTの比較測定は、同様のレベルのX線強度を維持しなが ら行いました。ナノチューブ N2 60 kVによりX線強度が増加した ため、測定時間は15時間から4時間に短縮されました。同時に、 CT測定時のドリフトの減少により、S/N比がさらに高い画像が 得られました 。

1) At 110 kV, the NanoTube N2 enables higher penetrating power and even higher imaging speed.

写真提供者:Dr.Christian Fella、フラウンホーファーIIS集積回路研究所、 ヴュルツブルク、ドイツ

優れた幾何学的アクセス

透過ターゲットの端部が最も突出した面になっていて、サンプ ルを可能な限りX線焦点に近づけることができます。また、フロ ント部が円錐形のため、しっかりした円錐形サンプルホルダー を使用できます。

Datasheets

NanoTube N2

安全性およびコンプライアンス

ExcillumのX線源

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当社のX線源MetalJetおよびNanoTubeは、最高レベルのパフォーマンスと信頼性を保証するように設計されています。 定期的なメンテナンス、トラブルシューティング、または最適化が必要な場合はいつでも、経験豊富なエンジニアのチームが、当社のX線源がインストールされているすべての市場で、オンサイトまたはリモートサポートを提供できます。

また、エキシルムABは日本国内における保守サービスと保守部品の供給でシエンタオミクロン株式会社と提携しています。エキシルムABからX線源を単品で導入された日本国内のユーザーもシエンタオミクロン株式会社の国内熟練技術者による充実した技術支援を受けられます。

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