MetalJet E1+ 160 kV
サブミクロンの安定性を備えた、キロワットパワーのマイクロフォーカスX線源。
MetalJet E1+ 160 kVのご紹介
新しいExcillum MetalJet E1+は1000Wで、30μmの焦点サイズの従来型 30Wタングステン 固体ターゲットX線源と比較して17倍以上のX線フラックス強度を 取ることができます。24- 29keVのエネルギー域ではインジウムと錫の特性X線によ り従来型と比較して100倍の高強 度が得られます。
24時間週7日稼働可能な信頼性の高い性能
MetalJet E1 +は、年に1回までの予防保守サイクルを備えた、高スループットの100％デューティサイクル稼働用に設計されています。 これにより、従来のX線源で必要とされる頻繁なフィラメント交換の必要がなくなります。
サブミクロンの位置安定性
1000W運転時でも1μm以下の焦点位置安定性を確保。
従来にない24keVインジウムKα特性線
高エネルギー単色X線として、収束或いはコリメートされた24keVのインジウムKαX線が使えます。MontelX線収束ミラー により 1.3×1010photons/s/mm2のフラックスが得られます 。
特徴と利点
- 究極のマイクロフォーカス・X線源
- 優れたスポット品質
- シングルポートデュアルポート・モードのオプション
- 最小限の保守
- ユーザーが変更可能なスポット・サイズとアスペクト比
- 長寿命LaB6カソード
- 高い安定性をもつX線発生とスポット位置
- ユーザー・フレンドリーなグラフィカル・ユーザー・インターフェース
- GUIまたはTCP/IPプロトコルで制御
- 調整可能な射出角
- 外部冷却水が不要
- どのコンピュータからでも遠隔操作可能
技術的仕様
ターゲット材料1
| 液体金属合金 | 最小焦点スポット・サイズ | < 10 µm |
ターゲットタイプ | 液体ジェット | X線強度安定性3 | < 1% |
電圧 | 30-160 kV | 位置安定性3 | < 1 μm |
出力2 | 0-1000 W | 焦点-対物最小距離。 | 22.5 mm |
最大電流 | 6.25 mA | ビーム角度 | 20° |
1) MetalJetのX線源に使用する常温液体金属合金は、主にガリウム、インジウム、スズで構成されています。低反応性、低毒性です が、安全データ シートや取扱い規制に従ってください。
2) 実際の使用電力はスポット・サイズと電圧に依存します。ただし、160kVの高圧電源の最大出力は3000Wですが、ソフトウェアにより上限1000W に制限しています。
3) 標準偏差
使用可能なアノード合金
アノード合金 | ガリウム | インジウム | スズ |
ExAlloy-G14 | 95 | 5 | - |
ExAlloy-I1 | 68 | 22 | 10 |
ExAlloy-I24 | 47 | 37 | 16 |
ExAlloy-I34 | 75 | 25 | - |
4) ExAlloy-G1，ExAlloy-I2，ExAlloy-I3ではMetalJet E1のヒーター・システムで合金温度の制御を行います。
X線源は、図面に示された寸法のヘッドとポンプ・システ ムで構 成されています。ヘッドは基本的にポンプ・システ ムの真上に取 り付ける必要があります。カップリングは半 剛性で、X線源ヘッ
ドは多少動かすことができます。ExAlloy-G1，ExAlloy-I2および ExAlloy-I3で動作するX線 源には、合金再循環ループ内にヒータ ージャケットが装着 されます。
さらに、MetalJet E1+ 160 kVはヘッドとポンプ・システム から最大 4mの距離に据え付け可能な複数の19インチ・ラック・マウント 部品で構成されています。
X線源の操作はTCP/IP経由のリモート、あるいは直接GUI で行う ことが可能です。GUIはモニタ、キーボード、マウ
スが装備されている場合は光源自体で、または光源にTCP/ IP接 続できるほとんどのコンピュータで操作することができ ます。
X線源はスタンドアローンで運転することはできず、適切な イン ターロック接続のあるシステムと統合する必要がありま す。
メイン電源:交流、単相、200-240 V、2.6ー3.5 kW(構成 による) 、50/60 Hz。
使用環境:20~30°C (X線源の動作安定化のためには ±0.5°C以 内の変動)、最大相対湿度85%。
強度特性5
ターゲット合金 | 加速電圧 | NX線焦点サイズ6[µm] | 印加電子ビーム電力 | ピーク輝度[photons/(s mm2 mrad2)] | 単位輝度 [photons/(s mrad2)] |
ExAlloy-I2 | 160 | 30 | 1000 | 1.4×1010 | 1.5×107 |
160 | 30 | 700 | 1.4x1010 | 1.3x107 | |
160 | 25 | 570 | 2.2x1010 | 1.1x107 | |
120 | 20 | 380 | 2.5x1010 | 8.8x106 | |
70 | 20 | 250 | 1.7x1010 | 6.5x106 | |
70 | 10 | 150 | 3.3x1010 | 4.4x106 | |
ExAlloy-G1 | 160 | 30 | 1000 | 3.9x1010 | 4.7x107 |
160 | 30 | 700 | 3.8x1010 | 3.9x107 | |
160 | 25 | 570 | 5.6x1010 | 3.4x107 | |
120 | 20 | 380 | |||
70 | 20 | 250 | 4.1x1010 | 1.4x107 | |
70 | 10 | 150 | 7.1x1010 | 9.6x106 |
5) 実験に基づいた数値を表示しています。詳細についてはExcillumに直接コンタクトください。
6)スポットサイズは、水平方向と垂直方向にそれぞれ積分されたX線強度分布の半値全幅（FWHM）として測定されます。X線スポットは、最大アスペクト比6：1の様々な縦横比の電子ビームラインフォーカスによって実現されます。実際のスポットサイズは取り出し角度により縦横比が異なります。
他の線源パラメータでのX線データはExcillum Webサイトをご覧ください。
ターゲット合金 | 加速電圧 | NX線焦点サイズ6[µm] | 印加電子ビーム電力 | ピーク輝度[photons/(s mm2 mrad2)] | 単位輝度 [photons/(s mrad2)] |
ExAlloy-I2 | 160 | 30 | 1000 | 9.0x109 | 1.0x107 |
160 | 30 | 700 | 8.9x109 | 8.5×106 | |
160 | 25 | 570 | 1.5x1010 | 7.2x106 | |
120 | 20 | 380 | 1.6x1010 | 5.7 x106 | |
70 | 20 | 250 | 1.1x1010
| 4.0x106 | |
70 | 10 | 150 | 2.0x1010 | 2.7x106 | |
ExAlloy-G1 | 160 | 30 | 1000 | 3.2x1010 | 3.7x107 |
160 | 30 | 700 | 3.0x1010 | 3.1x107 | |
160 | 25 | 570 | 4.6x1010 | 2.7x107 | |
120 | 20 | 380 | 5.0x1010 | 1.9x107 | |
70 | 20 | 250 | 3.2x1010 | 1.1x107 | |
70 | 10 | 150 | 5.5x1010 | 7.4x106 |
5) 実験に基づいた数値を表示しています。詳細についてはExcillumに直接コンタクトください。
6) X線スポットサイズは電子ビームのフォーカスにより変えられます。最大アスペクト比は4:1に設定できます。実際のスポットサ イズは取出し角度 により縦横比が異なります。詳細はExcillumに直接コンタクトください。
他の線源パラメータでのX線データはExcillum Webサイトでご覧になれます。Please contact us for more details
ターゲット合金 | 加速電圧 | X線焦点サイズ6[µm] | 印加電子ビーム電力 | ピーク輝度 [photons/(s mm2 mrad2)] | 単位輝度 [photons/(s mrad2)] |
ExAlloy-I2 | 160 | 30 | 1000 | 1.6×1010 | 1.9×107 |
160 | 30 | 700 | 1.5×1010 | 1.5×107 | |
160 | 25 | 570 | 2.1×1010 | 1.3×107 | |
120 | 20 | 380 | 2.2×1010 | 8.5×106 | |
70 | 20 | 250 | 1.3×1010 | 4.3×106 | |
70 | 10 | 150 | 2.2×1010 | 2.9×106 | |
ExAlloy-G1 | 160 | 30 | 1000 | 6.3×109 | 7.7×106 |
160 | 30 | 700 | 5.9×1010 | 6.4×106 | |
160 | 25 | 570 | 8.3×1010 | 5.6×106 | |
120 | 20 | 380 | |||
70 | 20 | 250 | 7.6×109 | 2.5×106 | |
70 | 10 | 150 | 1.3×1010 | 1.7×106 |
5) 実験に基づいた数値を表示しています。詳細についてはExcillumに直接コンタクトください。
6) X線スポットサイズは電子ビームのフォーカスにより変えられます。最大アスペクト比は4:1に設定できます。実際のスポットサ イズは取出し角度 により縦横比が異なります。詳細はExcillumに直接コンタクトください。
他の線源パラメータでのX線データはExcillum Webサイトでご覧になれます。Please contact us for more details
ターゲット合金 | 加速電圧 | X線焦点サイズ6[µm] | 印加電子ビーム電力 | ピーク輝度 [photons/(s mm2 mrad2)] | 単位輝度 [photons/(s mrad2)] |
ExAlloy-I2 | 160 | 30 | 1000 | 4.9×109 | 5.7×106 |
160 | 30 | 700 | 4.5×109 | 4.7×106 | |
160 | 25 | 570 | 6.5×109 | 4.1×106 | |
120 | 20 | 380 | 5.9×109 | 2.3×106 | |
70 | 20 | 250 | 2.3×109 | 7.9×105 | |
70 | 10 | 150 | 3.8×109 | 5.2×105 | |
ExAlloy-G1 | 160 | 30 | 1000 | 7.3×108 | 8.8×105 |
160 | 30 | 700 | 6.8×108 | 7.3×105 | |
160 | 25 | 570 | 9.5×108 | 6.4×105 | |
120 | 20 | 380 | |||
70 | 20 | 250 | 4.7×108 | 1.6×105 | |
70 | 10 | 150 | 7.7×108 | 1.1×105 |
5) 実験に基づいた数値を表示しています。詳細についてはExcillumに直接コンタクトください。
6) X線スポットサイズは電子ビームのフォーカスにより変えられます。最大アスペクト比は4:1に設定できます。実際のスポットサ イズは取出し角度 により縦横比が異なります。詳細はExcillumに直接コンタクトください。
他の線源パラメータでのX線データはExcillum Webサイトでご覧になれます。Please contact us for more details
ターゲット合金 | 加速電圧 | X線焦点サイズ6[µm] | 印加電子ビーム電力 | ピーク輝度 [photons/(s mm2 mrad2)] | 単位輝度 [photons/(s mrad2)] |
ExAlloy-I2 | 160 | 30 | 1000 | 9.3×109 | 9.6×106 |
160 | 30 | 700 | 8.4x109 | 7.8x106 | |
160 | 25 | 570 | 1.2x1010 | 6.7x106 | |
120 | 20 | 380 | 1.3x1010 | 4.3x106 | |
70 | 20 | 250 | 7.3x109 | 1.9x106 | |
70 | 10 | 150 | 1.2x1010 | 1.3x106 | |
ExAlloy-G1 | 160 | 30 | 1000 | 7.5×109 | 8.8×106 |
160 | 30 | 700 | 6.7x109 | 7.0x106 | |
160 | 25 | 570 | 8.7x109 | 6.0x106 | |
120 | 20 | 380 | |||
70 | 20 | 250 | 6.1x109 | 1.6x106 | |
70 | 10 | 150 | 1.0x1010 | 1.1x106 |
5) 実験に基づいた数値を表示しています。詳細についてはExcillumに直接コンタクトください。
6) X線スポットサイズは電子ビームのフォーカスにより変えられます。最大アスペクト比は4:1に設定できます。実際のスポットサ イズは取出し角度 により縦横比が異なります。詳細はExcillumに直接コンタクトください。
他の線源パラメータでのX線データはExcillum Webサイトでご覧になれます。Please contact us for more details
ターゲット合金 | 加速電圧 | X線焦点サイズ6[µm] | 印加電子ビーム電力 | ピーク輝度 [photons/(s mm2 mrad2)] | 単位輝度 [photons/(s mrad2)] |
ExAlloy-I2 | 160 | 30 | 1000 | 9.2×109 | 7.5×106 |
160 | 30 | 700 | 8.2x109 | 5.9x106 | |
160 | 25 | 570 | 1.1x1010 | 5.0x106 | |
120 | 20 | 380 | 8.7x109 | 2.0x106 | |
70 | 20 | 250 | 6.4x108 | 1.1x105 | |
70 | 10 | 150 | 1.1x109 | 7.2x104 | |
ExAlloy-G1 | 160 | 30 | 1000 | 6.3×109 | 5.7×106 |
160 | 30 | 700 | 5.6x109 | 4.4x106 | |
160 | 25 | 570 | 7.8x109 | 3.7x106 | |
120 | 20 | 380 | |||
70 | 20 | 250 | 4.5x108 | 8.3x104 | |
70 | 10 | 150 | 8.3x108 | 5.2x104 |
5) 実験に基づいた数値を表示しています。詳細についてはExcillumに直接コンタクトください。
6) X線スポットサイズは電子ビームのフォーカスにより変えられます。最大アスペクト比は4:1に設定できます。実際のスポットサ イズは取出し角度 により縦横比が異なります。詳細はExcillumに直接コンタクトください。
他の線源パラメータでのX線データはExcillum Webサイトでご覧になれます。Please contact us for more details
ユーザーストーリ―
エキシルムのメタルジェットX線源のご利用例
最先端のX線源をご利用のお客様の体験談
当社製品へのご質問はございますか？
当社は、お客様のアプリケーションで当社技術の利点を最大限に生かすための、成長する組織、および機能と専門知識を備えたパートナーのネットワークを備えています。
ご質問はこちらまで
田中志穂, Ph.D.
Senior Scientist
MetalJet E1+の用途分野
カスタマーサポート
当社のX線源MetalJetおよびNanoTubeは、最高レベルのパフォーマンスと信頼性を保証するように設計されています。 定期的なメンテナンス、トラブルシューティング、または最適化が必要な場合はいつでも、経験豊富なエンジニアのチームが、当社のX線源がインストールされているすべての市場で、オンサイトまたはリモートサポートを提供できます。
また、エキシルムABは日本国内における保守サービスと保守部品の供給でシエンタオミクロン株式会社と提携しています。エキシルムABからX線源を単品で導入された日本国内のユーザーもシエンタオミクロン株式会社の国内熟練技術者による充実した技術支援を受けられます。
