MetalJet E1+ 160 kV

サブミクロンの安定性を備えた、キロワットパワーのマイクロフォーカスX線源。

MetalJet E1+ 160 kVのご紹介
従来のX線源の10~70倍のフラックス強度を得る ことができます

新しいExcillum MetalJet E1+は1000Wで、30μmの焦点サイズの従来型 30Wタングステン 固体ターゲットX線源と比較して17倍以上のX線フラックス強度を 取ることができます。24- 29keVのエネルギー域ではインジウムと錫の特性X線によ り従来型と比較して100倍の高強 度が得られます。

24時間週7日稼働可能な信頼性の高い性能
MetalJet E1 +は、年に1回までの予防保守サイクルを備えた、高スループットの100%デューティサイクル稼働用に設計されています。 これにより、従来のX線源で必要とされる頻繁なフィラメント交換の必要がなくなります。

サブミクロンの位置安定性
1000W運転時でも1μm以下の焦点位置安定性を確保。

従来にない24keVインジウムKα特性線
高エネルギー単色X線として、収束或いはコリメートされた24keVのインジウムKαX線が使えます。MontelX線収束ミラー により 1.3×1010photons/s/mm2のフラックスが得られます 。

特徴と利点

  • 究極のマイクロフォーカス・X線源
  • 優れたスポット品質
  • シングルポートデュアルポート・モードのオプション
  • 最小限の保守
  • ユーザーが変更可能なスポット・サイズとアスペクト比
  • 長寿命LaB6カソード
  • 高い安定性をもつX線発生とスポット位置
  • ユーザー・フレンドリーなグラフィカル・ユーザー・インターフェース
  • GUIまたはTCP/IPプロトコルで制御
  • 調整可能な射出角
  • 外部冷却水が不要
  • どのコンピュータからでも遠隔操作可能

技術的仕様

ターゲット材料1

液体金属合金

最小焦点スポット・サイズ

< 10 µm

ターゲットタイプ

液体ジェット

X線強度安定性3

< 1%

電圧

30-160 kV

位置安定性3

< 1 μm

出力2

0-1000 W

焦点-対物最小距離。

22.5 mm

最大電流

6.25 mA

ビーム角度

20°

1) MetalJetのX線源に使用する常温液体金属合金は、主にガリウム、インジウム、スズで構成されています。低反応性、低毒性です が、安全データ シートや取扱い規制に従ってください。
2) 実際の使用電力はスポット・サイズと電圧に依存します。ただし、160kVの高圧電源の最大出力は3000Wですが、ソフトウェアにより上限1000W に制限しています。
3) 標準偏差

使用可能なアノード合金

アノード合金

ガリウム
[重量%]

インジウム
[重量%]

スズ
[重量%]

ExAlloy-G14

95

5

-

ExAlloy-I1

68

22

10

ExAlloy-I24

47

37

16

ExAlloy-I34

75

25

-

4) ExAlloy-G1,ExAlloy-I2,ExAlloy-I3ではMetalJet E1のヒーター・システムで合金温度の制御を行います。

X線源は、図面に示された寸法のヘッドとポンプ・システ ムで構 成されています。ヘッドは基本的にポンプ・システ ムの真上に取 り付ける必要があります。カップリングは半 剛性で、X線源ヘッ
ドは多少動かすことができます。ExAlloy-G1,ExAlloy-I2および ExAlloy-I3で動作するX線 源には、合金再循環ループ内にヒータ ージャケットが装着 されます。

さらに、MetalJet E1+ 160 kVはヘッドとポンプ・システム から最大 4mの距離に据え付け可能な複数の19インチ・ラック・マウント 部品で構成されています。

X線源の操作はTCP/IP経由のリモート、あるいは直接GUI で行う ことが可能です。GUIはモニタ、キーボード、マウ
スが装備されている場合は光源自体で、または光源にTCP/ IP接 続できるほとんどのコンピュータで操作することができ ます。

X線源はスタンドアローンで運転することはできず、適切な イン ターロック接続のあるシステムと統合する必要がありま す。

メイン電源:交流、単相、200-240 V、2.6ー3.5 kW(構成 による) 、50/60 Hz。

使用環境:20~30°C (X線源の動作安定化のためには ±0.5°C以 内の変動)、最大相対湿度85%。

強度特性5

ターゲット合金

加速電圧 
[kV]

NX線焦点サイズ6[µm]

印加電子ビーム電力
[W]

ピーク輝度[photons/(s mm2 mrad2)]

単位輝度 [photons/(s mrad2)]

ExAlloy-I2

160

30

1000

1.4×1010
1.5×107


160

30

700

1.4x1010
1.3x107

160

25

570

2.2x1010
1.1x107

120

20

380

2.5x1010
8.8x106

70

20

250

1.7x1010
6.5x106

70

10

150

3.3x1010
4.4x106

ExAlloy-G1

160

30

1000

3.9x1010
4.7x107

160

30

700

3.8x1010
3.9x107

160

25

570

5.6x1010
3.4x107

120

20

380

70

20

250

4.1x1010
1.4x107

70

10

150

7.1x1010
9.6x106

5) 実験に基づいた数値を表示しています。詳細についてはExcillumに直接コンタクトください。
6)
スポットサイズは、水平方向と垂直方向にそれぞれ積分されたX線強度分布の半値全幅(FWHM)として測定されます。X線スポットは、最大アスペクト比61の様々な縦横比の電子ビームラインフォーカスによって実現されます。実際のスポットサイズは取り出し角度により縦横比が異なります。

他の線源パラメータでのX線データはExcillum Webサイトをご覧ください。

ターゲット合金

加速電圧 
[kV]

NX線焦点サイズ6[µm]

印加電子ビーム電力
[W]

ピーク輝度[photons/(s mm2 mrad2)]

単位輝度 [photons/(s mrad2)]

ExAlloy-I2

160

30

1000

9.0x109
1.0x107

160

30

700

8.9x109
8.5×106

160

25

570

1.5x1010
7.2x106

120

20

380

1.6x1010
5.7 x106

70

20

250

1.1x1010
4.0x106

70

10

150

2.0x1010
2.7x106

ExAlloy-G1

160

30

1000

3.2x1010
3.7x107

160

30

700

3.0x1010
3.1x107


160

25

570

4.6x1010
2.7x107

120

20

380

5.0x1010
1.9x107

70

20

250

3.2x1010
1.1x107

70

10

150

5.5x1010
7.4x106

5) 実験に基づいた数値を表示しています。詳細についてはExcillumに直接コンタクトください。
6) X線スポットサイズは電子ビームのフォーカスにより変えられます。最大アスペクト比は4:1に設定できます。実際のスポットサ イズは取出し角度 により縦横比が異なります。詳細はExcillumに直接コンタクトください。
他の線源パラメータでのX線データはExcillum Webサイトでご覧になれます。Please contact us for more details

ターゲット合金

加速電圧
[kV]

X線焦点サイズ6[µm]

印加電子ビーム電力
[W]

ピーク輝度 [photons/(s mm2 mrad2)]

単位輝度 [photons/(s mrad2)]

ExAlloy-I2

160

30

1000

1.6×1010
1.9×107

160

30

700

1.5×1010
1.5×107

160

25

570

2.1×1010
1.3×107

120

20

380

2.2×1010
8.5×106

70

20

250

1.3×1010
4.3×106

70

10

150

2.2×1010
2.9×106

ExAlloy-G1

160

30

1000

6.3×109
7.7×106

160

30

700

5.9×1010
6.4×106

160

25

570

8.3×1010
5.6×106

120

20

380

70

20

250

7.6×109
2.5×106

70

10

150

1.3×1010
1.7×106

5) 実験に基づいた数値を表示しています。詳細についてはExcillumに直接コンタクトください。
6) X線スポットサイズは電子ビームのフォーカスにより変えられます。最大アスペクト比は4:1に設定できます。実際のスポットサ イズは取出し角度 により縦横比が異なります。詳細はExcillumに直接コンタクトください。
他の線源パラメータでのX線データはExcillum Webサイトでご覧になれます。Please contact us for more details

ターゲット合金

加速電圧
[kV]

X線焦点サイズ6[µm]

印加電子ビーム電力
[W]

ピーク輝度 [photons/(s mm2 mrad2)]

単位輝度 [photons/(s mrad2)]

ExAlloy-I2

160

30

1000

4.9×109
5.7×106

160

30

700

4.5×109
4.7×106


160

25

570

6.5×109
4.1×106

120

20

380

5.9×109
2.3×106

70

20

250

2.3×109
7.9×105

70

10

150

3.8×109
5.2×105

ExAlloy-G1

160

30

1000

7.3×108
8.8×105

160

30

700

6.8×108
7.3×105

160

25

570

9.5×108
6.4×105

120

20

380

70

20

250

4.7×108
1.6×105

70

10

150

7.7×108
1.1×105

5) 実験に基づいた数値を表示しています。詳細についてはExcillumに直接コンタクトください。
6) X線スポットサイズは電子ビームのフォーカスにより変えられます。最大アスペクト比は4:1に設定できます。実際のスポットサ イズは取出し角度 により縦横比が異なります。詳細はExcillumに直接コンタクトください。
他の線源パラメータでのX線データはExcillum Webサイトでご覧になれます。Please contact us for more details

ターゲット合金

加速電圧 
[kV]

X線焦点サイズ6[µm]

印加電子ビーム電力
[W]

ピーク輝度 [photons/(s mm2 mrad2)]

単位輝度 [photons/(s mrad2)]

ExAlloy-I2

160

30

1000

9.3×109
9.6×106

160

30

700

8.4x109
7.8x106

160

25

570

1.2x1010
6.7x106

120

20

380

1.3x1010
4.3x106


70

20

250

7.3x109
1.9x106

70

10

150

1.2x1010
1.3x106

ExAlloy-G1

160

30

1000

7.5×109
8.8×106

160

30

700

6.7x109
7.0x106

160

25

570

8.7x109
6.0x106

120

20

380

70

20

250

6.1x109
1.6x106

70

10

150

1.0x1010
1.1x106

5) 実験に基づいた数値を表示しています。詳細についてはExcillumに直接コンタクトください。
6) X線スポットサイズは電子ビームのフォーカスにより変えられます。最大アスペクト比は4:1に設定できます。実際のスポットサ イズは取出し角度 により縦横比が異なります。詳細はExcillumに直接コンタクトください。
他の線源パラメータでのX線データはExcillum Webサイトでご覧になれます。Please contact us for more details

ターゲット合金

加速電圧 
[kV]

X線焦点サイズ6[µm]

印加電子ビーム電力 
[W]

ピーク輝度 [photons/(s mm2 mrad2)]

単位輝度 [photons/(s mrad2)]

ExAlloy-I2

160

30

1000

9.2×109
7.5×106

160

30

700

8.2x109
5.9x106

160

25

570

1.1x1010
5.0x106

120

20

380

8.7x109
2.0x106

70

20

250

6.4x108
1.1x105

70

10

150

1.1x109
7.2x104

ExAlloy-G1

160

30

1000

6.3×109
5.7×106

160

30

700

5.6x109
4.4x106

160

25

570

7.8x109
3.7x106

120

20

380

70

20

250

4.5x108
8.3x104

70

10

150

8.3x108
5.2x104

5) 実験に基づいた数値を表示しています。詳細についてはExcillumに直接コンタクトください。
6) X線スポットサイズは電子ビームのフォーカスにより変えられます。最大アスペクト比は4:1に設定できます。実際のスポットサ イズは取出し角度 により縦横比が異なります。詳細はExcillumに直接コンタクトください。
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Data sheet

MetalJet E1+

カタログ

メタルジェット技術

安全性およびコンプライアンス

ExcillumのX線源

詳しい情報

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Excillum Shiho Tanaka image

田中志穂, Ph.D.

Senior Scientist

Application areas for MetalJet E1 160kv

Imaging

Scattering and diffraction

Spectroscopy and fluorescence

カスタマーサポート

当社のX線源MetalJetおよびNanoTubeは、最高レベルのパフォーマンスと信頼性を保証するように設計されています。 定期的なメンテナンス、トラブルシューティング、または最適化が必要な場合はいつでも、経験豊富なエンジニアのチームが、当社のX線源がインストールされているすべての市場で、オンサイトまたはリモートサポートを提供できます。

また、エキシルムABは日本国内における保守サービスと保守部品の供給でシエンタオミクロン株式会社と提携しています。エキシルムABからX線源を単品で導入された日本国内のユーザーもシエンタオミクロン株式会社の国内熟練技術者による充実した技術支援を受けられます。

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