MetalJet D2+ 70 kV
世界で最も明るいマイクロフォーカスX線源
スポット品質は非常に優れており、5〜30μmのスポットサイズの範囲内で、市販されている他のマイクロフォーカスX線源 よりもはるかに高い輝度を実現しています。したがってMetalJet D2+ は、露光時間の短縮、スループットの向上、高い信号対ノ イズ(S/N)比を必要とする、あらゆるマイクロフォーカスのアプリケーションに理想的なX線源です。
ダイナミック・アダプテーション技術の導入により、実質的なカソードの寿命は2〜4倍に延長され、アプリケーションに応じて24時間週7日で1年間の稼働が可能です。

特長と利点
- 非常に強力なマイクロフォーカス線源出力
- 優れたスポット品質
- デュアルX線出力ポート選択可能
- ユーザーがスポットサイズとアスペクト比を可変可能
- 非常に安定したX線放射とスポット位置
- 調整可能な射出角度
- 放射線遮蔽の組み込み
- 低い総消費電
- 外付け式水冷システム不要
- シャッター取り付け選択可能
- 最小限かつ予測可能なメンテナンス
- LaB6長寿命カソード
- 空冷システム
- 任意のコンピュータからの遠隔操作
- グラフィカル・ユーザー・インターフェイス(GUI)
1) X線源を完全に放射線遮蔽するには、シャッターを取り付けて閉じた状態で操作する必要があります。シャッター無しまたはシャッターを開けたまま起動すると、X線透過窓および窓周辺領域からX線が放射されます。
技術仕様
ターゲット物質2 | GaまたはInリッチ金属合金 | 最小焦点スポット・サイズ | ~10 µm(ご希望により約5 µmをご提供) |
ターゲットタイプ | 液体ジェット | 放射安定性 4 | < 1% |
電圧 | 21-70 kV | ビーム角度4 | < 1 μm |
出力3 | 0-250 W | 焦点-対物最小距離5 | 18 mm |
最大電流 | 4.3 mA | ビーム角度6 | 13°/30° |
2) MetalJet線源用に供給される室温の液体金属合金は、主にガリウム(Ga)、インジウム(In)及びスズ(Sn)からなります。低反応性で低毒性ですが、安全性データシートおよび現 地の規制に従って取り扱う必要があります。現在使用可能なアノード合金は、Exalloy-G1 (Ga含有量 95%) と、Exalloy-I1(In含有量 21%)です。(次のページの典型的な発光スペクト ルを参照して下さい)。
3) 使用される実際の電力は、スポットサイズと電圧に依存します。70kV高電圧発生器の最大出力は300Wです。
4) 標準偏差。
5) シャッター無しの場合。(シャッター有りで24.8mm)
6) シャッター無しの場合。(シャッター有りで10.5°)
利用可能なアノード合金
アノード合金 | ガリウム [重量 %] | インジウム [重量 %] | スズ [重量 %] |
ExAlloy-G1 | 95 | 5 | - |
ExAlloy-I1 | 68 | 22 | 10 |
ExAlloy-I27
| 47 | 37 | 16 |
ExAlloy-I3 | 75 | 25 | - |
7) ExAlloy-I2合金をご利用の場合、融点が室温より高いため、MetalJet X線源にヒーターシステムを装備する必要があります。詳しくはお問い合わせください。
Spot stability over 24 h

Spot shape example

Emission Spectra at 250 W, 70 kV, 20 µm (0.1 keV bin width)

線源は、図に示す寸法のヘッドおよびポンプシステムからなります。ヘッドはポ ンプシステムの上に基本的にまっすぐに取り付ける必要があります。カップリ ングは半剛性であり、線源ヘッドを少し移動することが可能です。
さらに、MetalJet D2+ 70 kVは、2つの4U(高さ176 mm)の19インチラック用 電子機器ボックスと、床置きの空気/水冷却器(69×36×62 cm)で構成され、ヘ ッドとポンプシステムから最大4mまで取り付けることができます。
線源は、TCP / IPを介して、またはGUIから直接操作することができます。GUI は、線源がモニター、キーボード、マウスを備えていれば線源上で操作できま すし、または線源にTCP / IP接続してほとんどのコンピューター・プラットフォー ム上で操作できます。
線源はスタンドアロンユニットとして操作することはできません。適切なインタ ーロック接続を提供するシステムに組み込む必要があります。
メイン電源: 単相交流、200-240 V,16 A, 50/60 Hz
周囲温度湿度: 20〜25°C (線源の最適安定性のためには、± 0.2°Cで
安定していること)、相対湿度最高85%
性能例
アノード合金 | X線焦点サイズ8[µm] | 印加電子ビーム電力 [W] | Ga Kα (9.2 keV) ピーク輝度 [photons/(s mm2 mrad2
)] | Ga Kα (9.2 keV) 単位輝度 [photons/(s mrad2)] | In Kα (24 keV) ピーク輝度 [photons/(s mm2 mrad2 )] | In Kα (24 keV) 単位輝度 [photons/(s mrad2)] |
ExAlloy-G1 | 10 | 125 | 4.3x1010 | 6.3x106 | 6.0x108 | 9.0x104 |
ExAlloy-G1 | 20 | 250 | 3.2x1010 | 1.1x107 | 4.7x108 | 1.6x105 |
ExAlloy-I1 | 10 | 125 | 2.6x1010 | 3.7x106 | 1.7x109 | 2.6x105 |
ExAlloy-I1 | 20 | 250 | 1.8x1010 | 6.4x106 | 1.4x109 | 4.7x105 |
ExAlloy-I2 | 10 | 125 | 1.6x1010 | 2.3x106 | 2.9x109 | 4.4x105 |
ExAlloy-I2 | 20 | 250 | 1.1x1010 | 4.0x106 | 2.3x109 | 7.9x105 |
8) 実際の電子ビームスポットはそれぞれ40×10および80×20μmのラインフォーカスですが、投影スポットは基本的に円形となります。
詳しい情報
ユーザーストーリ―
エキシルムのメタルジェットX線源のご利用例
最先端のX線源をご利用のお客様の体験談
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当社は、お客様のアプリケーションで当社技術の利点を最大限に生かすための、成長する組織、および機能と専門知識を備えたパートナーのネットワークを備えています。

田中志穂, Ph.D.
Senior Scientist
MetalJet D2+の用途分野
カスタマーサポート
当社のX線源MetalJetおよびNanoTubeは、最高レベルのパフォーマンスと信頼性を保証するように設計されています。 定期的なメンテナンス、トラブルシューティング、または最適化が必要な場合はいつでも、経験豊富なエンジニアのチームが、当社のX線源がインストールされているすべての市場で、オンサイトまたはリモートサポートを提供できます。
また、エキシルムABは日本国内における保守サービスと保守部品の供給でシエンタオミクロン株式会社と提携しています。エキシルムABからX線源を単品で導入された日本国内のユーザーもシエンタオミクロン株式会社の国内熟練技術者による充実した技術支援を受けられます。
