液体金属ジェット技術

液体金属ジェット技術により高解像度を維持したまま画像取り込みスピードが向上し、より正確で高精度の分析を可能にすると同時に高いスループットを実現できます。特に直径約5 µmから数十µmという微小焦点X線管のスポットサイズでは、液体金属ジェットアノードをベースとするX線源の方が、従来の固体アノードX線源よりも格段に高い性能を発揮します。
金属ジェット技術の内面図
固体アノード vs. 液体金属ジェット
Excillum MetalJetの内部
出力負荷能力
全ての電子衝突型X線発生装置によるX線出力 は、アノードの熱出力負荷によって制限されます。 従来の固体アノード技術では、損傷を避けるため にアノードの表面温度を融点よりも十分に低くし なければなりません。これは基本的にアノードで あるターゲット材料の特性、主に融点と熱伝導率 によって制限されます。
一方、液体金属アノードであるMetalJetでは、タ ーゲットを融点より十分に低い温度に維持しな ければならないという制約が解消されます。これ は、ターゲット材料が初めから溶解しており、ま た液体ジェットの性質上、ターゲットが常に再生 しているためです。新鮮なターゲット材料は100 m/sに近い速度で供給されます。アノードが連続的に再生されているので、電子ビームとアノードの相互作用は、実際に破壊的にまでなり得るのです。
並外れた輝度
直観的には少々理解しにくいですが、小焦点X線 管の出力負荷能力は、電子ビームの焦点面積で はなく、ほぼその直径によって規定されます。従って、輝度は光源の直径に反比例します。
並外れた出力負荷能力と微小な電子ビーム焦点 の組み合わせにより、液体ジェットを用いたX線 源は、ミクロンオーダーのスポットサイズで、これ までにない輝度を達成することができるのです。
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当社は、お客様のアプリケーションで当社技術の利点を最大限に生かすための、成長する組織、および機能と専門知識を備えたパートナーのネットワークを備えています。

田中志穂, Ph.D.
Senior Scientist
MetalJetの用途分野
ユーザーストーリ―
エキシルムのメタルジェットX線源のご利用例
最先端のX線源をご利用のお客様の体験談